M134-超精密三坐标测量仪整机机构设计[含SW三维图] 下载积分：50　资料编号： M134

作品包括:

word版本说明书一份,共36页，约15000字

sw三维图全套

CAD版本图纸，共18张

摘 要

本文中，对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结，对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍，选用燕尾型气体静压导轨，同步齿形带和钢带传动，摩擦杆进行驱动。对移动桥和溜板进行了简单的ANSYS分析，计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度；选用伺服电机作为动力源，并对其进行了简单的功率计算，分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境；定位采用开式光栅尺，对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析，查找误差源和精度的综合分析。

关键词：超精密、气静压、高精度、精密测量 

目 录

1 绪 论 2

1.1 课题的来源 2

1.2 课题的意义 2

1.3 精密测量的研究现状 2

1.4 精密测量的关键技术 6

2 超精密三坐标测量仪整机机构介绍 8

2.1 总体布局 8

2.2 床身材料选用 9

2.3 导轨的设计 10

2.4 进给传动方式的选择 14

2.5 测量仪整体结构设计 16

2.6 测量仪的工作原理 17

3 测量仪的主要零部件的设计 18

3.1 移动桥的设计 18

3.2 溜板的设计 19

3.3 电机选型 21

3.4 环境控制平台 25

3.5 光栅尺的选型 26

4 测量仪精度分析 27

4.1 测量仪误差源 27

4.2 测量仪精度分析 29

5 结束语 32

参考文献 33

致 谢 34

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