Z1420-XYZ精密移动平台设计[含SW三维图] 下载积分：60　资料编号： Z1420

作品包括:

Word版说明书1份，共26页，约8000字

CAD版本图纸，共9张

SW三维图一份

摘要

精密微移动工作台系统在现代工业生产和科学研究领域发挥着非常重要的作用。它直接影响到集成电路的加工精度、精密测量精度和生产水平。开发的精密工作台通常在整体性能和严格的环境要求方面存在缺陷。本文旨在通过对精密移动平台支撑技术的研究，找到性能均衡的设计方案，为XYZ型精密移动平台的研制和工业应用打下坚实的基础。

本文通过对精密移动平台分析与设计，让我们了解了精密移动，为深入研究XYZ精密移动平台奠定了基础。分析了单轴精密移动组成和工作原理，系统地分析了单轴精密移动的组成和重要零部件结构，进行了精密移动整体传动设计。在对XYZ精密移动平台分析设计以及计算中，自己的机械设计能力取得了实质性进展。

关键词：精密移动平台；机械设计；传动系统

目录

摘要 I

Abstract II

第1章绪论 1

1.1研究背景及意义 1

1.2国内外发展现状 1

1.3研究的内容和方法 3

1.5本章小结 4

第2章XYZ精密移动平台整体设计 5

2.1整体方案 5

2.2驱动方式 6

2.3导轨选择 6

2.4位置测量技术 7

2.5控制系统 7

第3章精密移动平台关键零部件设计 8

3.1 直线导轨的参数确定 9

3.2滚珠丝杠的设计计算 11

3.3 步进电机的选用 12

3.4确定联轴器的型号 16

3.5 剪叉杆设计 17

第4章总结和展望 19

4.1设计总结 19

4.2未来展望 19

致谢 21

参考文献 22

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