

作品包括:
Word版设计说明书1份
CAD版本图纸,共5张
摘要
本文从光的传播和偏振谈起,介绍了椭圆偏振光谱测量的原理,详细说明了旋转偏振器型椭偏仪的光学系统配置和工作原理,并用穆勒矩阵对旋转偏振器型椭偏仪的光路系统模型进行了详细推导。阐释了变入射角椭偏测量的重要性,并分析总结了现有椭偏仪变入射角结构设计方案的优缺点,针对现有椭偏仪变角结构的不足,设计、改进了一种新的椭偏仪变入射角机构。这种机构的左右两臂由丝杆螺母副传递动力进行摆动,丝杆螺母由电机驱动。这种设计的杆件机构相对简单,两臂可以实现 45°到 90°的比较大范围的旋转, 左右两臂是同步摆动的,精度可以得到控制。对机架的一些受力相对较大的零件,用 ANSYS Workbench 进行了应力应变分析,得到应力应变云图,确保材料在极限承受范围内。本文主要总结了旋转偏振器型椭偏仪的测量原理,对一些主要的机械结构进行了设计改进,对椭偏仪的设计制造有一定的作用。
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